注意：水环真空泵严禁无液体空转，以免损坏零件；严禁泵体内满水启动；水环真空泵启动后，在出口阀未开的情况下，严禁长时间运行。

接着检查废气旁通阀和电子气动压力转换}oDME通过对电子气动压力转换阀对废气旁通阀进行控制，以调节增压压力。废气旁通阀由一个膜片箱气动调整。电子气动压力转换阀向膜片箱施加真空．推动废气旁通操控杆对废气旁通阀进行控制(图2)。通过调节加速踏板，并观察废气旁通操控杆，废气旁通操控杆可以动作，初步判断废气旁通阀无卡滞现象。而电子气动压力转换阀也可以动作，进一步拆下电子气动压力转换阀．检查真空管．无破损和泄漏现象，又测量电子气动压力转换阀的电阻，为11Ω(图3)，正常（20℃时为ΩΩ）且电子气动压力转换阀表面无污物(图4)。初步判断电子气动压力转换阀正常。

检查真空泵充油，冻干机必要换掉脏油，检查压力。检查干燥空磨口是否在整个密封面上均匀涂布了真空油。冻干机采用带8个真空橡胶密封阀的干燥室时应摘下真空橡胶密封阀，用橡胶塞堵上接口，抽真空进行检查并依次换装真空橡胶密封阀进行检查。

真空破坏阀广泛应用于各种容易产生真空的系统，如消防、泳池、绿地喷灌、给排水、船坞、电厂、冶金、造船等领域，在系统形成负压的时候及时吸入空气保护系统，在管道或容器因系统运行或停止而产生负压或真空逐步升高时，真空破坏阀能自动开启，破坏真空效应，使管道及其它设备不至产生瘪、凹裂等现象，以保护设备的。

公司主要从事压力管道组件，低功率气动控制阀，流体设备，真空电子洁净设备及其相关零部件。公司半导体领域的产品主要是腔体，管件，阀，泵等零部件，应用于真空，气体领域。公司重点研发真空半导体零部件的加工，表面处理等工艺，并持续提供高端高洁净泵，超洁净管道管件，超洁净高密封性真空腔体。

从图1所示结构可以看出，所进行的真空度控制应该还是手动调节方式，即固定机械泵抽速（一般是全开状态），然后通过调节泄漏阀的开度来达到不同的真空度，但这种手动控制方式很难保证真空度控制的准确性和稳定性，完全不能按照设计好的不同设定值对真空度进行控制。