停机之后高真空气动挡板阀自然也会关闭，但真空室内仍处于高真空状态。如在设备出现故障停机的情况后，操作人员没有按使用规范及时的进行破真空或开启真空泵的动作，而是在自动界面直接点击气动案件，那么此时高真空气动挡板阀至真空室内处于高真空状态，高真空环境至真空泵端则为常压状态。此时高真空气动挡板阀若打开，真空泵如有参与的油气，那么油气便会受真空室内负压的作用被到吸入真空室内，造成真空室内产品的污染。

停机之后高真空气动挡板阀自然也会关闭，但真空室内仍处于高真空状态。如在设备出现故障停机的情况后，操作人员没有按使用规范及时的进行破真空或开启真空泵的动作，而是在自动界面直接点击气动案件，那么此时高真空气动挡板阀至真空室内处于高真空状态，高真空环境至真空泵端则为常压状态。此时高真空气动挡板阀若打开，真空泵如有参与的油气，那么油气便会受真空室内负压的作用被倒吸入真空室内，造成真空室内产品的污染。

除了对操作人员进行使用规范外，考虑到人员的流动性及操作规范的执行力等因素，也需要从设备控制方面进行简单有效的优化，增加真空泵启动与高真空挡板阀启动间的互锁功能，保证在真空泵未开启的状态下无法启动高真空气动挡板阀，以达到防止误操作而造成真空室返油的情况。

若是出现真空室内产品受污染出现报警的情况，一般而言发生这样的情况更多是对设备操作不当，导致真空泵产生的部分油气被倒吸入真空室内所至的。真空等离子清洗机在待机状态时真空泵通常是运行的，主要是通过高真空气动挡板阀的打开与关闭实现对真空室的抽真空功能。在设备运行过程汇总，如出现真空泵故障、真空泵热过载故障、电源偏差及反射过大等情况报警时，为保护设备关键配件不受损坏，设备将自动停机。

若是出现真空室内产品受污染出现报警的情况，一般而言发生这样的情况更多是对设备操作不当，导致真空泵产生的部分油气被到吸入真空室内所至的。等离子清洗机在待机状态时真空泵通常是运行的，主要是通过高真空气动挡板阀的打开与关闭实现对真空室的抽真空功能。在设备运行过程汇总，如出现真空泵故障、真空泵热过载故障、电源偏差及反射过大等情况报警时，为保护设备关键配件不受损坏，设备将自动停机。